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販売中止のご案内
 
本装置は、ガラス基板上の配向膜を所定の条件にて、ラビングを行うインライン装置です。小型ガラス基板、ウェハーはもとより、G5以上の大型ガラス基板にも対応可能です。ガラス基板の大型化に伴い、ギャップ精度、回転ムラ、振動、静電気等の基本特性、タクトタイム、メンテナンス性等の運動特性が損なわれないよう、設計製造され、均一で安定したラビングを可能としました。
※「高精細モバイル仕様ラビング装置について」はこちらをクリック


G7基板(1950×2250mm)~G5(1100×1300mm)対応ラビング装置
G7基板(1950×2250mm)~G5(1100×1300mm)対応ラビング装置

○ステージリニアドライブ駆動 特許取得
 振動発生源を無くし、高精度の制御を実現

○スピンドル構造 特許取得
 ラビングローラーの撓みを低減

○ハイブリッドラビングローラー 特許取得
 複合素材の採用により、軽量・高精度を達成

○高剛性メインフレーム
 鋼材溶接構造により、大型化に対応
             

     
   
フィルムラビング装置

○500mm~1500mm幅対応 Roll to Rollフィルムラビング装置

○G2基板対応 枚葉式フィルムラビング装置

      
     
   
小型ラビング装置

開発用小型装置へ

      
     
   
卓上ラビング装置

開発用小型装置へ

      
     
 G4.5基板(730mm×920mm)対応ラビング装置
 
G4.5基板(730mm×920mm)対応 
    ラビング装置

○ダイレクトドライブ駆動

○スピンドル構造

○高剛性メインフレーム

     
G2基板(370mm×470mm)対応  ラビング装置
 
G2基板(370mm×470mm)対応  ラビング装置
ガントリー移動方式採用により、サイクルタイムの短縮を実現
     
ラビング付帯装置
 
USドライクリーナー  
USドライクリーナー

ラビング装置前後に配置し、ガラス基板上のダストを非接触式ドライクリーナーにより取り除きます。

   
     
   
ラビング布巻き/エージング装置
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